里其乐Rietschle真空泵：VC50/VC75/VC100/VC150/VC202/VC303
里其乐真空泵油：MULTI-LUBE 46
在多级（三级或三级以上）水蒸气喷射泵中，用水环泵（水作工作液时，液环泵称为水环泵）代替最后
一级水蒸气喷射泵或者最后的两级水蒸气喷射泵，组成水蒸气喷射泵-水环泵串联机组，这样有效利用了
蒸汽喷射泵，组成水蒸气喷射泵-水环泵串联机组，这样有效利用了蒸汽喷射泵在高真空下抽气能力大和
水环泵在低真空下抽气效率高的特点，节约能源；由于液环泵可以做成闭式循环系统，vc50里其乐真空泵，工作液通过换热
器冷却后循环利用，避免了工艺液体的排放，有利于保护环境。
里其乐Rietschle真空泵：VC50/VC75/VC100/VC150/VC202/VC303/VC400/VC500/VC700/VC900/VC1100/VC1300
高压缩比的涡轮分子泵，以双级旋片式真空泵为前级，里其乐真空泵vc75，可得到5*10-9Pa的真空度。用扩散泵作前级，里其乐真空泵，可
得到10-9Pa真空度。泵入口安装上钛升华阱，里其乐真空泵vc50，获得的真空度高于10-9Pa。
涡轮分子泵对氢的压缩比小，残留气体中主要是氢。泵的极限氢分压受泵的压缩比和前级管道中氢分压
的限制，采用扩散泵作前级，可降低前级管道中的氢分压，进而可提高泵的极限真空度。
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