里其乐真空泵Denver Rietschle
超高真空机组工作在10-6~10-8Pa超高真空压力范围，除了要求真空室的材料出气率很低、漏气率很小、能经受200~450℃高温烘烤外，对机组的要求还有：
1，主泵的极限真空要高，至少在10-7~10-8Pa以上；
2，在超高真空的工作压力范围内主泵具有一定的抽速；
3，机组的主泵或主泵进气口以上部分能承受200~450℃高温烘烤；
4，来自主泵的返流气体（包括工作液蒸汽及解析的气体）的分压力要足够低；
5，里其乐真空泵，对被抽气体选择性强的主泵，要配备足够大的辅助泵；
6，机组主泵进气口以上的管道、阀门等部件，材料的选择和密封要特别慎重，一般采用出气率较低的不锈钢和采用金属圈密封。
731400，731401，731399，730936730937，730516-0000，730514，731142，515310，730506，513457，730507
低温泵对不锈钢制造的超高的超高真空泵容器排气很适合。20K的低温泵可得到10-8Pa的真空度，vc303里其乐真空泵，4.2K的
低温泵，可得到10*10~10*12Pa的真空度。
低温泵系统不产生碳氢化合物、金属膜的剥落碎片或自身带来的其他污染，里其乐真空泵vc100，在超高真空范围，vc150里其乐真空泵，低温泵是
可以取代其他类泵的一种清洁抽气手段。
超高真空机组主要用于表面研究、热核反应、高能加速器、半导体研究、空间模拟等科学领域中。由于
这些现代科学技术发展的需要，大大促进了超高真空技术的发展，目前超高真空实用真空度已达10-12Pa
。
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