里其乐真空泵Denver Rietschle
超高真空机组工作在10-6~10-8Pa超高真空压力范围，除了要求真空室的材料出气率很低、漏气率很小、能经受200~450℃高温烘烤外，对机组的要求还有：
1，主泵的极限真空要高，至少在10-7~10-8Pa以上；
2，在超高真空的工作压力范围内主泵具有一定的抽速；
3，机组的主泵或主泵进气口以上部分能承受200~450℃高温烘烤；
4，来自主泵的返流气体（包括工作液蒸汽及解析的气体）的分压力要足够低；
5，对被抽气体选择性强的主泵，里其乐真空泵，要配备足够大的辅助泵；
6，机组主泵进气口以上的管道、阀门等部件，材料的选择和密封要特别慎重，一般采用出气率较低的不锈钢和采用金属圈密封。
里其乐Rietschle真空泵：VC50/VC75/VC100/VC150/VC202/VC303
里其乐真空泵油：MULTI-LUBE 100
溅射离子泵通常与钛升华泵联合使用。溅射离子泵的残气中主要成分是氢，而钛升华泵抽氢效果好。
一般中小型真空系统以溅射离子泵作主泵，而大型系统以钛升华泵作主泵，里其乐真空泵vc150，用这种机组可得到10-9Pa的
真空度。
在超高真空系统中，里其乐真空泵vc75，要求溅射离子泵要彻底烘烤。如果真空室已进行了高温烘烤，那么泵只需要250℃烘
烤，里其乐真空泵vc100，真空度到10-5Pa后，缓慢升到250℃，时间为10~20h。
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