里其乐Rietschle真空泵：VC50/VC75/VC100/VC150/VC202/VC303/VC400/VC500/VC700/VC900/VC1100/VC1300/VCA25/VCA40/VCE25/VCE40/VGD10/VGD15/VTN10/VTN15/VTN25/VTN40/DLT10/DLT15/DLT25/DLT40/DTA50/DTA60/DTA80/DTA100/DTA140/KLT/15/KLT25/KLT40
里其乐Rietschle真空泵：VC50/VC75/VC100/VC150/VC202/VC303
里其乐真空泵油：MULTI-LUBE 100
溅射离子泵通常与钛升华泵联合使用。溅射离子泵的残气中主要成分是氢，而钛升华泵抽氢效果好。
一般中小型真空系统以溅射离子泵作主泵，里其乐真空泵油lube46，而大型系统以钛升华泵作主泵，用这种机组可得到10-9Pa的
真空度。
在超高真空系统中，要求溅射离子泵要彻底烘烤。如果真空室已进行了高温烘烤，里其乐真空泵，那么泵只需要250℃烘
烤，里其乐真空泵机械泵油，真空度到10-5Pa后，缓慢升到250℃，时间为10~20h。
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