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里其乐真空泵滤芯









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里其乐Rietschle真空泵:VC50/VC75/VC100/VC150/VC202/VC303

里其乐真空泵油:MULTI-LUBE 100

溅射离子泵通常与钛升华泵联合使用。溅射离子泵的残气中主要成分是氢,而钛升华泵抽氢效果好。

一般中小型真空系统以溅射离子泵作主泵,而大型系统以钛升华泵作主泵,用这种机组可得到10-9Pa的

真空度。

在超高真空系统中,旋片5216396000,要求溅射离子泵要彻底烘烤。如果真空室已进行了高温烘烤,那么泵只需要250℃烘

烤,真空度到10-5Pa后,缓慢升到250℃,时间为10~20h。



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