当对真空室进行抽空时，真空室必须干净，旋片5216386000，以尽快达到所需 压力。真空系统典型的污染物包括生产真空系统产生的残渣 表面、螺丝钉和密封件上的油脂与应用相关的污染物 过程反应产物、灰尘和颗粒环境相关的污染物 冷凝蒸汽，旋片5127406000，特别是吸附在容器壁上的水分。因此，在安装真空设备时有必要确保部件尽可能干净。真空 室中安装的所有部件必须干净、无油脂。安装的所有密封件 必须干燥。如果无法避免使用真空润滑脂，且根本是辅助安 装而不是作为密封胶，必须非常谨慎地使用。如果将要产生 高真空或超高真空，旋片5281296000，在装配过程中必须佩带干净、不掉毛、 无粉手套。
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工作于分子流状态下的高真空抽气机组与低真空机组相比，0，工作压力较低、排气量小、抽速大。机组的主泵通常为扩散泵、扩散增压泵、分子泵、钛泵、低温冷凝泵等。这些泵不能直接对大气工作，因此需要配备预抽泵或前级维持泵。有些扩散泵高真空抽气机组还配有前级储气罐，以防止气压波动。改善机组性能。
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