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Eimo Rietschle 里其乐真空泵










低温泵抽气系统

低温泵对不锈钢制造的超高真空容器排气很适合。20K的低温泵可得到10-8Pa的真空度,4.2K的低温泵,

可得到10-10~10-12Pa的真空度。

低温泵系统不产生碳氢化合物、金属膜的剥落碎片或自身带来的其他污染。在超高真空范围,低温泵是

可以取代其他类泵的一种清洁抽气手段。



Rietschle里其乐真空泵VC100

1,旋片5222656000 ,主泵极限真空要比真空装置的工作真空高一个到一个半数量级,如工作真空选1*10-6Pa,那么泵的极限真空至少为1*10-7Pa;

2,在真空装置工作真空范围内,真空泵要有足够的抽速,以便排走装置中气体;

3,旋片5278766000,主泵或者主泵入口到真空室排气口的管道、冷阱、挡板、阀门等均能经受250~450℃的烘烤;

4,0,主泵对被抽气体有选择性抽气时,应配辅助泵联合抽气;

5,真空泵所用刚才应选用不锈钢




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