731400，731401，731399，730936730937，730516-0000，730514，731142，515310，730506，513457，730507
低温泵对不锈钢制造的超高的超高真空泵容器排气很适合。20K的低温泵可得到10-8Pa的真空度，4.2K的
低温泵，可得到10*10~10*12Pa的真空度。
低温泵系统不产生碳氢化合物、金属膜的剥落碎片或自身带来的其他污染，在超高真空范围，里其乐真空泵油46，低温泵是
可以取代其他类泵的一种清洁抽气手段。
超高真空机组主要用于表面研究、热核反应、高能加速器、半导体研究、空间模拟等科学领域中。由于
这些现代科学技术发展的需要，大大促进了超高真空技术的发展，目前超高真空实用真空度已达10-12Pa
。
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机组选型按如下顺序进行：工艺数据—机组类型—机组级数—机组规格—机组类比—验证—确定选型
1，惠州里其乐真空泵，根据被抽系统性质，选定机组类型，抽除气体性质决定机组类型和配置，里其乐真空泵油LUBE100，真空机组抽除的系统可以分
为：
①闭式系统。即密闭的无气源容器，或者放气量非常小可以忽略，如液氧储罐、真空镀膜、化工容器的
清洗，残气回收等，可以采用罗茨-旋片、罗茨-滑阀泵、罗茨-往复泵、罗茨-螺杆泵真空机组等。
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