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低温泵对不锈钢制造的超高的超高真空泵容器排气很适合。20K的低温泵可得到10-8Pa的真空度,4.2K的
低温泵,可得到10*10~10*12Pa的真空度。
低温泵系统不产生碳氢化合物、金属膜的剥落碎片或自身带来的其他污染,在超高真空范围,里其乐真空泵专用油,低温泵是
可以取代其他类泵的一种清洁抽气手段。
超高真空机组主要用于表面研究、热核反应、高能加速器、半导体研究、空间模拟等科学领域中。由于
这些现代科学技术发展的需要,大大促进了超高真空技术的发展,目前超高真空实用真空度已达10-12Pa
。
里其乐真空泵VC202/VC303真空机组
2,依据使用压力确定机组级数,选定类型后,要确定被抽系统的压力。将系统需用的有效极限压力、工
作压力,与选型样本资料对照。就压力而言,一般机组工作压力低于系统压力半个数量级到一个数量级
,同时需要计算管程压力损失,例如,要求系统在100Pa工作,应该选择机组在100~10Pa时有较大抽速,
极限压力应该在1Pa左右,依次确定机组级数。
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