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高压缩比的涡轮分子泵，里其乐真空泵油供应，以双级旋片式真空泵为前级，江门里其乐真空泵油，可得到5*10-9Pa的真空度。用扩散泵作前级，里其乐真空泵油报价，可
得到10-9Pa真空度。泵入口安装上钛升华阱，里其乐真空泵油厂家，获得的真空度高于10-9Pa。
涡轮分子泵对氢的压缩比小，残留气体中主要是氢。泵的极限氢分压受泵的压缩比和前级管道中氢分压
的限制，采用扩散泵作前级，可降低前级管道中的氢分压，进而可提高泵的极限真空度。
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