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工作于分子流状态下的高真空抽气机组与低真空机组相比，工作压力较低、排气量小、抽速大。机组的主泵通常为扩散泵、扩散增压泵、分子泵、钛泵、低温冷凝泵等。这些泵不能直接对大气工作，因此需要配备预抽泵或前级维持泵。有些扩散泵高真空抽气机组还配有前级储气罐，以防止气压波动。改善机组性能。
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高压缩比的涡轮分子泵，里其乐真空泵vgd15，以双级旋片式真空泵为前级，可得到5*10-9Pa的真空度。用扩散泵作前级，可
得到10-9Pa真空度。泵入口安装上钛升华阱，里其乐真空泵代理，获得的真空度高于10-9Pa。
涡轮分子泵对氢的压缩比小，里其乐真空泵vc300，残留气体中主要是氢。泵的极限氢分压受泵的压缩比和前级管道中氢分压
的限制，里其乐真空泵，采用扩散泵作前级，可降低前级管道中的氢分压，进而可提高泵的极限真空度。
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