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里其乐Rietschle真空泵：VCA25/VCA40/VCE25/VCE40/VGD10/VGD15/VTN10/VTN15/VTN25/VTN40/DLT10/DLT15/DLT25/DLT40/DTA50/DTA60/DTA80/DTA100/DTA140/KLT/15/KLT25/KLT40
涡轮分子泵内表面积大，烘烤出气是非常必要的。由于结构限制，vc303里其乐真空泵，一般只允许烘烤到足够大的抽速，里其乐真空泵，使
涡轮分子泵转速达到额定转数的75%时，就能将真空室抽到20~200Pa。一般涡轮分子泵的加速时间为
5~10min，这意味着机械泵排气时间必须小于这个范围。
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