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涡轮分子泵内表面积大，烘烤出气是非常必要的。由于结构限制，一般只允许烘烤到足够大的抽速，使

涡轮分子泵转速达到额定转数的75%时，就能将真空室抽到20~200Pa。一般涡轮分子泵的加速时间为

5~10min，这意味着机械泵排气时间必须小于这个范围。

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