真空泵在工业部门中应用相当广泛，如灯泡制造、电子管、食品包装、半导体器件的制造。真空蒸馏、真空浸渍、离子氮化、真空干燥、真空渗碳，真空淬火、真空浇铸等。在真空条件下由于气体分子数较少，1.5升真空泵，可以避免气体产生的有害作用。如在真空中热处理可以避免氧化和气体渗入金相组织，从而提高零件质量;在电子器件中保持高真空可以避免电子运动受到影响；在真空包装中保持高真空可以提高食品保质期。在现代尖端科学技术中，真空技术更是不可缺少的手段，如高能加速器、受控热核反应，宇宙模拟等工程都需要高真空或超高真空技术。
真空泵的种类很多，w型真空泵，有机械真空泵(如往复式真空泵、油封式机械真空泵、罗茨真空泵、涡轮分子泵、水环式真空泵等)，喷射真空泵(如水蒸汽喷射泵、水喷射泵、大气喷射泵、油增压泵、油扩散泵等)，还有物理化学吸附泵(如钛泵、分子筛吸附泵、低温泵等).在机械工业部门中主要采用机械真空泵，其他类型的泵则较少采用。
真空泵机组的机械发展
真空泵机组主要用于需要处理大量水蒸汽，时间长且极限真空度要求非常高的抽真空系统，离子真空泵，例如在真空干燥方面。要求处理大量水蒸汽的真空系统中，使用水环泵是较合适的，但由于其极限真空度不高，致使整个机组的极限真空度较低。真空干燥时，先用水环泵进行预抽，直至水蒸汽大量减少时，再开动气镇机械真空泵，切断水环泵。 虽然在要求真空度较高的抽真空系统中，需要极限真空较高的机械真空泵作为前级泵使用。
真空泵机组有如下几种类型：罗茨泵-水环泵：机组中水环泵的作用是造成罗茨泵所需的预备真空，江西真空泵，一般情况，单级水环泵极限真空度不高，而目前我国生产的罗茨泵要求的预真空又较高，故实际上一般不用单级水环泵作为罗茨泵的前级泵，而用极限压力较低的双级水环泵作为前级泵使用，还可以降低机组的极限压力。需要较长时间才能完成干燥的场合，所需冷却水和功率都较少。
实验室通常使用真空泵(Vacuum pump)来产生真空。由于从粗真空到极高真空压力跨度高达十几个数量级(Pa)，所以，实验上要求不同的真空度时需要选择不同种类的真空泵。要获得高真空或超高真空，一般需用几种泵的联合组合使用才能达到。
真空泵按获得真空的机理和方式可分为压缩型的真空泵和吸附型真空泵两大类。压缩型泵(Compression pump) ，是将气体由特定容器压缩，然后排放至容器外。如水冲泵、机械泵、扩散泵、分子泵等。另一类是吸附型泵(Sorption pump) ，是依靠将特定空间的气体分子吸附方式来降低压力以获得真空度。如钛泵、低温泵、吸附泵等。
机械泵和扩散泵价格低廉、抽气速率很高，是实验室最常用的真空泵，但它们都要用特种油作为工作物质，因而对实验对象有一定的污染。机械泵只能产生1~10-1Pa的低真空。扩散泵使用时必须用机械泵作为前级泵，可获得10-1~10-7Pa的高真空或超高真空。隔膜泵、吸附泵和钛泵都属于无油类型泵，不存在油蒸气的沾污问题，它们串级使用可获得优于10-6Pa的超高真空。分子泵是靠内圆筒高速机械运动使气体作定向流动，一般须与前级泵组合来获得高真空。低温泵是目前抽速最，大、能达到极高真空的真空泵。
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