实验室通常使用真空泵(Vacuum pump)来产生真空。由于从粗真空到极高真空压力跨度高达十几个数量级(Pa)，所以，实验上要求不同的真空度时需要选择不同种类的真空泵。要获得高真空或超高真空，一般需用几种泵的联合组合使用才能达到。
真空泵按获得真空的机理和方式可分为压缩型的真空泵和吸附型真空泵两大类。压缩型泵(Compression pump) ，天津真空泵，是将气体由特定容器压缩，然后排放至容器外。如水冲泵、机械泵、扩散泵、分子泵等。另一类是吸附型泵(Sorption pump) ，是依靠将特定空间的气体分子吸附方式来降低压力以获得真空度。如钛泵、低温泵、吸附泵等。
机械泵和扩散泵价格低廉、抽气速率很高，是实验室最常用的真空泵，1.5升真空泵，但它们都要用特种油作为工作物质，因而对实验对象有一定的污染。机械泵只能产生1~10-1Pa的低真空。扩散泵使用时必须用机械泵作为前级泵，可获得10-1~10-7Pa的高真空或超高真空。隔膜泵、吸附泵和钛泵都属于无油类型泵，不存在油蒸气的沾污问题，它们串级使用可获得优于10-6Pa的超高真空。分子泵是靠内圆筒高速机械运动使气体作定向流动，一般须与前级泵组合来获得高真空。低温泵是目前抽速最，大、能达到极高真空的真空泵。
真空泵在真空系统作业中扮演的角色
一、在系统中做主泵：所谓主泵就是对真空系统被抽容器直接进行抽真空，以获得满足工艺需要所需真空度的真空泵。 二、粗抽泵 ：粗抽泵是指从大气压初步降低真空系统压强抵达另一抽气系统可以初步作业的真空泵。前级泵在真空机组中见的比较多，主要是帮助主泵罗茨真空泵启动。
三、前级泵 ：前级泵是指用于使另一个泵的前级压强坚持在其最，高容许的前级压强以下的真空泵。
四、坚持泵 ：坚持泵是指当真空系统抽气很小时，不能有用的运用首要前级泵。为此，在真空系统中另配一种抽气速度较小的辅佐前级泵来坚持主泵的正常作业或坚持已抽暇的容器所需的低压的真空泵。
五、粗真空泵或低真空泵：粗、低真空泵是指从大气初步，降低被抽容器的压强后作业在低真空或粗真空压强规划内的真空泵。
旋片式真空泵：
两个旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分，当转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的空间A的容积是逐渐增大的，正处于吸气过程。而与排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的，食品真空泵，正处于排气过程。居中的空间B的容积也是逐渐减小的，正处于压缩过程。由于空间A的容积是逐渐增大（即膨胀），气体压强降低，泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强，因此将气体吸入。当空间A与吸气口隔绝时，即转至空间B的位置，气体开始被压缩，容积逐渐缩小，最后与排气口相通。当被压缩气体超过排气压强时，排气阀被压缩气体推开，气体穿过油箱内的油层排至大气中。由泵的连续运转，达到连续抽气的目的。如果排出的气体通过气道而转入另一级（低真空级），由低真空级抽走，再经低真空级压缩后排至大气中，即组成了双级泵。这时总的压缩比由两级来负担，因而提高了极限真空度。
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