一直以来，真空泵的使用成本是影响人们选择真空泵的重要因素。真空泵的意外出错会引起机器的使用效率降低，影响到晶圆的生产和交货期，甚至造成所加工晶圆的报废和机器其他部件的损坏。由于真空泵设计为单级设计，同多级真空泵如圆裂片式、爪式以及组合式相比，旋片真空泵供应，其在零件的使用数量上减少了百分之六十。这使得其在稳定性和将来的维修成本上有很大的优势。
真空泵维修对零件更换的要求
真空泵维修过程中，零部件的精度及其质量对泵浦维修后的性能尤为重要，对此维修人员一定要对机械结构及其原理不是了解，同时注意其零件之间的精度及配合公差，因为不同的质量的配件及其型号规格精度都对泵浦组装后的性能产生重大的影响。
真空泵连续使用3-4个月以后，即应换油。在湿度较大的环境下使用，应酌情缩短换油期。换下的油可经清洁去湿处理后再用。
换油方法如下:将泵从系统上拆下，用干净的方盘接在放油孔下，旋下/注油塞和放油塞，旋片真空泵工厂，放出污油，断续启动电机卜6次，使各真空小室内的油全部排出。然后从各抽气管加入干净的真空泵油200-300cc，断续启动电动机，再次清洗各真空室。这样，旋片真空泵厂，经2~3次重复清洗，珠海旋片真空泵，放光清洗用All，旋上放Ill塞，从注油塞处加入干净的真空泵油到视窗孔的中心位置，旋紧注油塞不使漏气。
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