正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
真空机组具有很高的抽气效率
真空机组具有很高的抽气效率，简化高真空机组，取消罗茨真空泵是分子增压泵的又一个优势。对于较大型的高真空机组应用设备，也可以适当加强前级真空泵的预抽能力，进一步缩短抽气时间，由于预抽时间与整个排气过程相比很短，阳春旋片真空泵，故前级真空泵的使用时间很短，因此可以兼作多套设备的预抽作用。这样一来就使规模化应用的真空机组得到了大大的简化。在某些中真空应用中，需要进入10-1Pa范围，这对罗茨真空泵的二级机组往往难于实现，而使用二级罗茨真空泵串接的三级机组可使真空度提高一个数量级而进入10-1Pa，所以中真空应用也常用三级机组。由于分子增压泵在10-1Pa可以满抽速，所以也可以在三级中真空机组中取代两级罗茨真空泵。
通常长时间工作在中真空的低端压力范围的罗茨真空泵，分子增压真空泵可以完全取代。而长时间工作在中真空高端压力范围的罗茨真空泵相对而言应该较少，旋片真空泵供应，因为这一压力范围前级真空泵往往还具有强劲的抽速。
零件更换前需要对零部件进行彻底的清洗
在真空泵维修时，旋片真空泵厂商，特别是在维修环境不是很好的地方，需要我们的维修人员尽力去保证设备的清洁。另外，要正确选用清洗剂，禁止使用碱性清洗剂，防止零部件腐蚀生锈，尤其是那些精密零部件。另外，铝和铜类零部件不易放在碱性清洗剂中一道清洗，橡胶类零部件不宜和其他钢铁类零部件放在汽油、柴油及酸、碱性清洁剂中一起清洗。
在真空泵的维修过程中，如果不注意加强对部件表面杂质的清洗，或者清洗方法不当，都会导致零部件的磨损和腐蚀性破坏，从而严重影响维修质量和真空泵维修以后的使用寿命。
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