针对化学微蚀刻法和微细电镀法制备微流控芯片金属模具进行了工艺对比研究。采用激光共聚焦显微镜分别检测表征由这两种加工工艺制备所得的模具微结构特征，对其侧壁陡度、尺寸均匀性、粗糙度进行对比分析。结果表明，化学微蚀刻法制备的模具微结构的侧壁呈不规则弧形、尺寸均匀性差，表面粗糙度较大(Ra=3.58μm)。而微细电镀法制备的模具微结构的侧壁则呈规则的梯形、尺寸均匀性好，表面粗糙度较小(Ra=0.65μm)。微细电镀法制备的微流控芯片金属模具综合效果比化学微蚀刻好。
感光、显影 感光（爆光）是将菲林放在已经喷了感光油的产品上面，大朗不锈钢腐蚀，主要的目的是通过爆光让菲林上的图案在产品上形成，感光（爆光）过程中要特别注意夹具一定要放好，菲林不能歪斜，寮步不锈钢腐蚀，否则产品图案就会出现歪斜现象，从而产生不良品，而菲林也要定期检查，不能出现折叠现象，厚街不锈钢腐蚀，否则也会出现不良品。感光（爆光）完成后就要进行下一步工作：显影；显影的目的是通过显影药水将未爆光的地方冲走，不锈钢腐蚀，经过爆光的地方固化，形成蚀刻图案，经过显影后质检员对产品进行检查，把显影不到的地方或图案不良的产品挑选出来，良品则进入下一道工序：封油。封油 所谓封油就是将产品在喷油过程中产品边缘的位置、喷不到油的地方进行人工补油，补油过程中产品的金属部位不可有外露现象，否则经过蚀刻后将会产生不良品，补油完成后再对产品进行烘干，烘干完成后对产品进行检查，检查OK后才可以放入下一道工序：蚀刻。
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