爱德华真空泵是属于油封旋片式机械真空泵 ，厦门爱德华， 日常维护检查的内容为观察泵油颜色 ， 查看油位 ， 检查
进、出气口的过滤器。真空泵的常见故障是漏油、不能达到极限真空度和不能启动。判定故障后 ，爱德华ES630专用润滑油， 维修方法是
更换老化的密封部件 ， 添加和更换新油、清洗油路、更换老化的配油器、旋片和弹簧 ， 更换损坏的电源器件和
电机线圈等。最后给出真空泵的性能改造位置和方法。
Edwards半导体专用爱德华真空泵E2M80维修
2）对于单级泵，在泵运转时打开气镇阀能很好的防止泵油的返流。
3）在泵入口设置吸附阱，爱德华RV3用什么润滑油，依靠吸附剂吸附返流油蒸汽。颗粒活性氧化铝可以吸附99%的返流油蒸汽。这种吸附阱需要定期跟换吸附剂，爱德华RV8专用润滑油，以防吸附材料吸气能力达到饱和而失效。
4）使用特殊泵油。特殊泵油的返流量很少，但价格较贵，因此难以广泛使用。
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