抽不到真空泵的极限真空度
当该故障发生时 ， 应当首先检查真空系统的气密性 ， 看是否有轻微漏气。其次 ，爱德华ES100专用润滑油， 应当打开气镇 ， 让泵运行 30 m in 左右 ， 来抽干非泵油污染引起的可压缩蒸汽 ， 排除可压缩蒸汽对极限真空度的影响。在排除以上两个因素后 ， 引起真空泵抽不到极限真空度的主要原因有以下几个方面 : 泵油污染 ， 需要换油 ; 泵内油过滤器堵塞 ， 引起压缩注油系统油路不畅 ， 供油不足 ， 导致泵体密封不严 ， 这时需要清洗内部油过滤器 ; 配油器阀门变形 ， 磨损或损坏 ， 也可导致供油不足 ， 这时应检查更换配油器阀门 ; 长时间使用引起真空泵的旋片磨损或转子内的弹簧张力不足 ， 导致吸气室和排气室隔离不严 ， 从而引起真空泵的抽真空性能下降 ，爱德华ES65专用润滑油，这时应当更换旋片和弹簧 ， 并清洗转子和泵腔 ;检查排气阀门 ，太原爱德华， 观看其动作是否失灵 ，爱德华RV3用什么润滑油， 导致排气不畅 ， 必要时更换排气阀门。
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2）对于单级泵，在泵运转时打开气镇阀能很好的防止泵油的返流。
3）在泵入口设置吸附阱，依靠吸附剂吸附返流油蒸汽。颗粒活性氧化铝可以吸附99%的返流油蒸汽。这种吸附阱需要定期跟换吸附剂，以防吸附材料吸气能力达到饱和而失效。
4）使用特殊泵油。特殊泵油的返流量很少，但价格较贵，因此难以广泛使用。
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