无油真空泵又称干式真空泵，泵的工作腔内没有任何介质可以原汁原味的回收气体，由于无油真空泵叶片材质多是石墨制作的，如果遇到水分，就容易膨胀，损坏，但是无油真空泵用起来比较干净，在一些环境要求比较高的地方可以使用；而有油真空泵像旋片泵是靠介质油来工作，有油真空泵是通过油来密封，润滑，降温，这个类型的真空泵可以接受一点水分，同样的水环泵是靠水来工作（那么水就受到污染）
无油泵：功率相对较小，压力小，真空度也没那么高，噪音也小，但是不耗油，叶片或活塞不直接与所属送的液体接触，一般也没有特殊的散热系统，连续工作时间没有油长。油泵：一般功率较大，压力大，真空度高，噪音也大，耗油，叶片或活塞直接与所属送的液体接触，油会进入所输送的液体里，所以存在一定污染，油可以起润滑和散热作用，所以可以连续工作很长时间。
