在真空泵中真空泵油不仅作为获得真空的介质，爱发科真空泵油r-7，而且还对机械摩擦点起润滑，冷却和密封作用。
1、极低的蒸汽压这是真空泵油的最重要性能，由于真空泵要求真空度达到1.33×10－4Pa（10－6mmHg），高的要求达到1.33×10－4Pa（10－6mmHg）以下，因此要求真空泵油的蒸发性极低．一般要用石蜡基窄馏分润滑油，爱发科真空泵油，对于扩散真空泵，还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。
Ulvac爱发科真空泵油：Ulvac R 2 / Ulvac R 4 / Ulvac R 7
由于矩形腔室或类似设计，必须检查表面偏转和出现的张 力。如果它们过高，必须增加壁厚或对该区使用进行加固， 如通额外的焊接肋板。为此，可以使用采用有限元法 (FEM) 执行机械计算的程序来优化腔室设计。除允许的机械应力 外，爱发科真空泵油r4，也有必要检查在负载条件“外部环境、真空内部”下密封面 是否互相保持齐平。如果密封面歪曲，可能发生泄漏，阻碍 腔室的使用。
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