4、良好的抗腐蚀性与抗乳化性。真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，爱发科真空泵油，会腐蚀泵内金属零件与油发生化学变化。另外，吸入空气中往往含有水汽，日本爱发科真空泵油，引起真空泵油的乳化，故要求有良好的抗腐蚀性与抗乳化性。在真空脱水工艺使用的真空泵油的乳化更为突出。
5、较高的闪点要求真空泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸气压。
6、较低的极限压力极限压力是真空泵油重要的使用性能指标以了解在低真空极限压力下真空泵的极限压力。
Ulvac爱发科真空泵油：Ulvac R 2 / Ulvac R 4 / Ulvac R 7
由于矩形腔室或类似设计，必须检查表面偏转和出现的张 力。如果它们过高，日本爱发科真空泵油r7，必须增加壁厚或对该区使用进行加固，爱发科真空泵油r-7， 如通额外的焊接肋板。为此，可以使用采用有限元法 (FEM) 执行机械计算的程序来优化腔室设计。除允许的机械应力 外，也有必要检查在负载条件“外部环境、真空内部”下密封面 是否互相保持齐平。如果密封面歪曲，可能发生泄漏，阻碍 腔室的使用。
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