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工作于分子流状态下的高真空抽气机组与低真空机组相比，里其乐真空泵，工作压力较低、排气量小、抽速大。机组的主泵通常为扩散泵、扩散增压泵、分子泵、钛泵、低温冷凝泵等。这些泵不能直接对大气工作，因此需要配备预抽泵或前级维持泵。有些扩散泵高真空抽气机组还配有前级储气罐，以防止气压波动。改善机组性能。

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1，主泵极限真空要比真空装置的工作真空高一个到一个半数量级，如工作真空选1*10-6Pa，里其乐真空泵油代理，那么泵的极限真空至少为1*10-7Pa；

2，在真空装置工作真空范围内，里其乐真空泵专用油，真空泵要有足够的抽速，以便排走装置中气体；

3，主泵或者主泵入口到真空室排气口的管道、冷阱、挡板、阀门等均能经受250~450℃的烘烤；

4，德国里其乐真空泵油，主泵对被抽气体有选择性抽气时，应配辅助泵联合抽气；

5，真空泵所用刚才应选用不锈钢。

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