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液环泵适宜处理大量可凝性蒸汽的工况,入口允许吸入一定量的液体,里其乐真空泵,但是其极限压力不高,在不考虑

气体返流和泄漏时,里其乐真空泵油直销,极限压力就是所用工作液温度下的饱和蒸汽压力。液环泵的效率一般在30%~50%之间

,有时能达到60%,高于蒸汽喷射泵效率。



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溅射离子泵通常与钛升华泵联合使用。溅射离子泵的残气中主要成分是氢,里其乐真空泵油代理,而钛升华泵抽氢效果好。

一般中小型真空系统以溅射离子泵作主泵,而大型系统以钛升华泵作主泵,用这种机组可得到10-9Pa的

真空度。

在超高真空系统中,要求溅射离子泵要彻底烘烤。如果真空室已进行了高温烘烤,那么泵只需要250℃烘

烤,里其乐真空泵机械泵油,真空度到10-5Pa后,缓慢升到250℃,时间为10~20h。



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