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东莞市盛飞真空设备有限公司分享罗茨真空泵的抽气速率测试





罗茨真空泵抽气速率的测定采用定压法,在泵的进口处直接连接试验罩,泵的出口与前级油封机械泵连接,在进口与出口处均设有真空计测量压力,高温真空泵安装,流量计经调节针阀与试验罩相通。在启动真空泵并达到稳定工况后,方可进行测量。从接近极限真空的适当值开始测定抽气速率,一直测至泵的允许进口压力附近为止,每一个数量级中最少测四点,其分布应基本符合1, 2, 5, 7的比例,例如1xl0-2、2x10-2,  5x10-2和7xl0-2四点,在测量过程中,每次调节针阀使其达到一定压力后,至少经过3min待真空计上压力读数平稳,才能记录压力数据。如果压力有变化,则应采用在测量过程中的压力平均值。

 

 

在测量抽气速率的装置中,使用的真空计应为座式压缩真空计和油U型真空计,并经精度10%以上的压缩式真空计校准,真空计的取气口平面应与气流方向平行。流量侧量使用的流量计,高温真空泵生产厂家,在测量范围内必须具有二级精度。

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     东莞市盛飞真空设备有限公司是专业的真空泵生产厂家,下面由盛飞来为您介绍扩散泵的泵体特点:

     对于一般的扩散泵,泵体多做成直筒型;对于大型泵,2be3高温真空泵,也有用锥筒形或凸腔形泵体。由于圆筒形泵体便于加工,所以目前应用较多。泵口直径D<250mm的泵体用无缝钢管做成;大泵的泵体用4~10mm厚的钢板卷成圆筒焊接而成,焊缝不能漏气。泵内壁应抛光镀镍。

 

        凸腔泵体可以在不增加泵口尺寸的情况下,使抽速得到较大的提高。凸腔泵体是将直筒形泵体改变成局部鼓形凸腔泵体。加工方法仍是用钢板焊接而成。泵的底部截面与泵法兰入口直径仍相同,只是泵体在入口法兰的下部扩大泵腔,扩大的直径延伸都2级喷嘴射流直射到的泵壁处。由于泵体凸腔,扩大了抽气作用空间,增大了二级喷嘴间通导能力,也就提高了抽速。

 

       超高真空泵油也是很重要的问题。不适当的泵壁表面温度,使碰撞在扩散泵内表面的油蒸气分子不易凝聚,高温真空泵维修,沿泵壁向下流的油层表面温度比泵壁温度高的较多,易于产生再蒸发,形成油蒸气返流。所以泵壁冷却效率要高。一般在泵壁外面焊上螺旋形铜管或做成水套形式(也可在水套中间装上螺旋形钢丝)。泵冷却部位通常只限于蒸气流能喷射到的区域,这样可以使从上面冷凝下来的油在回到油锅前受到较高的热度,使溶解在油中的气体放出,避免它再混入油蒸气中进入各级喷嘴,影响泵的真空度。



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