在真空泵中真空泵油不仅作为获得真空的介质，还对机械摩擦点起润滑、冷却和密封作用。
这是真空泵油的重要的性能，由于真空泵要求真空度很高，一般用石蜡基窄馏分润滑油，高温真空泵生产厂家，对于扩散真空泵，还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。
真空泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和粘温特性。
真空泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，油品很容易氧化分解，尤其扩散泵往往处于很高的温度环境下工作，高温真空泵厂家，使系统内蒸气压升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的热氧化安定性。
真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学反应，腐蚀泵内零件；吸入空气中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金属腐蚀，所以要求具有良好的抗腐蚀和抗乳化性。
主要要求真空泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸气压。
极限压力是真空泵油重要的使用性能指标以了解在较低真空极限压力下真空泵的极限压力。
东莞市盛飞真空设备有限公司分享油扩散泵的用途
玻璃油扩散泵目前广泛用于试验室的真空设备、长排车和一些生产设备上。由于玻璃系统具有透明、便于观察内部情况，容易检漏、补漏，制做方便，价格便宜，吸放气少且易于除气等优点，修流高温真空泵，因此尽管它容易破碎，玻璃壁易于渗氦，体积不能做得很大因而抽速不能很大，但仍在中小抽速范围内大量使用着。
真空冶炼、半导体提纯、特种电真空器件和电光源的排气都要求在10-2~10-5托之间迅速排除大量气体，实验室为创造无噪声、无振动的环境需要长时间内停止机械泵的工作，高温真空泵厂，这些都提出了需要极限真空度高、排气量大和前级耐压高的排气设备等特殊要求。
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