Edwards爱德华真空泵E2M80维修
（1）泵油的返流
旋片泵在工作时，爱德华，油蒸汽会逆着气流方向进入入口管道，通过管路最终进入被抽容器。油蒸汽的返流量随压力的降低而增加，爱德华E2M28专用油，在泵极限压力附近达到，返流油蒸汽主要是泵油中的轻馏分。
泵油的返流会污染真空室，影响产品的质量，必须加以控制。防止泵油返流的主要措施有。
1）在泵入口管路上设置放气阀，爱德华真空泵专用油，使泵入口压力维持在10Pa或更高，这样可以减少返流98%。
Edwards爱德华真空泵E2M40/E2M80/E2M175/E2M275快速维修
卡泵：（1）端面间隙过小，泵油温升过高；处理方法：研磨旋片，爱德华E2M18真空泵油，调整间隙。
（2）泵内进入杂物；处理方法：清理。
（3）泵温过高；处理方法：加强水冷。
（4）转子断裂；处理方法：拆泵更换。
（5）泵腔生锈；处理方法：洗绣。
（2）装配零件松动；处理方法：重装。
（3）零件有毛刺，装配有变形；处理方法：重装、修磨，换件。
（4）电机轴无油；处理方法：加润滑油。
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