注油步骤
按照以下所述给泵注油。
1. 打开注油塞 。
2. 将油注入泵中，爱德华，直到油位刚好达到观察窗 顶部前盖上标示的 MAX 标记。如果油位超过 MAX 标记，应打开排
油阀 ，从泵中放出多余的油。
3. 几分钟后，爱德华E2M175专用油，再次检查油位。如果此时油位低于 MAX 标记，可向泵内再注入一些油。
4. 重新拧上注油塞。用手拧紧注油塞。不要拧得过紧。
Edwards爱德华真空泵E2M80维修
（1）泵油的返流
旋片泵在工作时，油蒸汽会逆着气流方向进入入口管道，通过管路最终进入被抽容器。油蒸汽的返流量随压力的降低而增加，爱德华E2M40专业泵油，在泵极限压力附近达到，返流油蒸汽主要是泵油中的轻馏分。
泵油的返流会污染真空室，影响产品的质量，必须加以控制。防止泵油返流的主要措施有。
1）在泵入口管路上设置放气阀，使泵入口压力维持在10Pa或更高，这样可以减少返流98%。
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