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爱德华iH系列真空泵维修
Edward iH series vacuum pump repair
维修型号：iH80、iH600、iH1000等
爱德华是半导体和平板显示器工艺方面的供应商，集工艺实现技术，材料和服务于一体。爱德华真空泵经长时间使用，已被正面其达到高运行标准。通过延长使用寿命、提高正常运行时间、增加产量，使其拥有了可靠的高性能，同时又具有占地面积小，拥有成本低等优点。
针对各种困难工艺，例如会生成颗粒、可凝结和腐蚀性副产品的PECVD等，IH系列提供极高的可靠性。iH干泵系列的峰值抽速从80到1800立方米/小时，其中iH1800干泵是专为高排量应用而设计的。
爱德华真空泵启动与停止要求
1.启动前准备，检查电动机转向是否正确，从电动机顶部向泵看伟顺时针旋转，试运行时间要短，以免使机械密封干磨损坏。
2.打开排气阀使润滑油充满整个泵体，待满后关闭排气阀，
3.检查各部位是否正常
4.用手盘动泵以使润滑油液进入机械密封端面起动
5.全开进口阀门，关闭出口管路阀门
6.起动电动机，观察泵运行是否正确
7.调节出口阀开度至所需工况，如用户在泵出口装有流量计或压力表，应通过调节出口阀门开度使泵在性能参数表所列的额定点上运行，并通过调节出口阀门开度，测量泵的电动机电流，使电动机在额定电流内运行，否则将造成超负荷运行致使电动机烧坏。调整出口阀门开启度与管道工况有关，
检查轴封泄漏情况
8.检查电动机，爱德华真空泵维修漏油，轴承处唯独应小于等于70度
9.停止，关闭吐出管路阀门，停止电动机，爱德华真空泵维修技巧，关闭进口阀门
10.如长期停机，应将泵内润滑油放尽。
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