一直以来，真空泵的使用成本是影响人们选择真空泵的重要因素。真空泵的意外出错会引起机器的使用效率降低，影响到晶圆的生产和交货期，甚至造成所加工晶圆的报废和机器其他部件的损坏。由于真空泵设计为单级设计，同多级真空泵如圆裂片式、爪式以及组合式相比，其在零件的使用数量上减少了百分之六十。这使得其在稳定性和将来的维修成本上有很大的优势。
对泵的修理，可考虑从减小它的间隙公差着手。一首先，设法改变它的偏心值:把中间轴套换一偏心套，使上切点间隙减小到0 02 mm;将高真空
室泵腔研磨去Q 03 mm，低真空室泵腔研磨去0 04 mm.清洗后倒放在平台上组装(不打定位销)，边组装边用手盘动泵轮，并以对角均匀原则拧紧紧固螺钉。根据经验，如果转子外表是正圆形，则转动泵轮时，不管到那一点，均不应有阻滞费力的感觉;但如果装配不正或转子外表为椭圆形，在转动泵轮时，就会发生半周轮重、半周轮轻的感觉。该泵装配间隙减的很小，装配时稍有不慎，就装不正，这样由于摩擦发热等原因，就容易在运转中卡死或研坏。所以要认真、细致地装配。在装完后试抽，其真空度用热偶真空计测达82格，由曲线查得相当于8X103托，旋片真空泵工厂，麦氏计测达2X 104托以上。运转一段时间后真空度还略有提高。
真空泵使用中的注意事项
1.真空泵必须安装在水平基础上，管路连接时要避免产生过大应力；真空泵排气管路在垂直方向上的高度要尽量小(安装上置分离器时除外)。
2.真空泵要避免满水频繁启动。
3.在真空泵的安装阶段要对泵口加以保护，避免焊渣或其它杂物进入泵内；在泵最初运行的100小时内，旋片真空泵哪家好，应在吸气口加开车滤网。与吸排气口连接的管路通径要与泵口通径相当。
4.真空泵在试车前要仔细检查联轴器，乐昌旋片真空泵，若有必要重新调整；真空泵为皮带传动时，旋片真空泵厂商，运行5小时后要检查皮带张力，若有必要重新调整。
5.工作液供水压力不宜太大，应高出排气压力0.1～0.2kg为宜。压力过高会导致叶轮损坏和电机过载。工作液要尽量使用软化水，若工作液硬度过高，必须定期对泵进行除垢，否则会导致泵损坏。
6.真空泵启动前要先打开供水管路以湿润轴封；点动电机，确定电机转向正确后再启动真空泵。
7.真空泵在使用时要注意所抽气体和使用的工作液是否与泵材质相符，工作液不要含有固体颗粒。
8.在霜冻季节或寒冷地区使用时，停车后应将泵放空。
9.在真空泵运行过程中，若出现异常情况要立即停车，并与供应商联系。
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