一、半导体产业生态环境
半导体产业诞生于上世纪70年代,当时主要受两大因素驱动:一是为计算机行业提供更符合成本效益的存储器;二是为满足企业开发具备特定功能的新产品而快速生产的专用集成电路。
到了80年代,系统规范牢牢地掌握在系统集成商手中。存储器件每3年更新一次半导体技术,并随即被逻辑器件制造商采用。
在90年代,逻辑器件集成电路制造商加速引进新技术,以每2年一代的速度更新,紧跟在内存厂商之后。技术进步和产品性能增强之间不寻常的强相关性,使得相当一部分系统性能和利润的控制权转至集成电路(IC)制造商中。他们利用这种力量的新平衡,使整个半导体行业收入在此期间年均增速达到17%.
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半导体硅片通常由高纯度的多晶硅锭釆用查克洛斯法(CZ Method)为主拉成不同电阻率的硅单晶锭,然而经过晶体定向→外圆滚磨→加工主、副参考面→切片→倒角→热处理→研磨→化学腐蚀→抛光→清洗→检测→包装等工序。
据硅纯度的不同要求,可分为太阳能等级99,9999%,6个“9”纯度,以及半导体等级11个“9”。本文只涉及半导体用的硅片。
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