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公司长期致力于真空泵维修保养服务,以真空泵维修经验跟大家分享下真空泵维修一些修理经验。有些泵,按其极限真空度的指标来说,也并不是很低的,但是生产上却希望它还能提高些,应如何着手呢? 对下面一台新的2X-30型旋片式油封机械真空泵的修理...


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公司长期致力于真空泵维修保养服务,以真空泵维修经验跟大家分享下真空泵维修一些修理经验。

有些泵,按其极限真空度的指标来说,也并不是很低的,但是生产上却希望它还能提高些,应如何着手呢?

 对下面一台新的2X-30型旋片式油封机械真空泵的修理经验就可借鉴。在该泵起初进行试抽时并未发现它有什么大毛病。生产上用它单独抽空希望能稳定地达到热偶真空计75格以上(相当于麦氏训·测的5X10;托),而实际上它比所希望的低不多。

  修理时,旋片真空泵价格,将其拆卸后测得其主要部位间隙尺寸为:转子切点间隙Q 04 nom,高真空室双面间隙Q 07 mm,低真空室双面间隙a 08 mm,转子比旋片短0 02mm。这些数据与表2来比较,还是正常的范围。



一直以来,真空泵的使用成本是影响人们选择真空泵的重要因素。真空泵的意外出错会引起机器的使用效率降低,影响到晶圆的生产和交货期,甚至造成所加工晶圆的报废和机器其他部件的损坏。由于真空泵设计为单级设计,同多级真空泵如圆裂片式、爪式以及组合式相比,其在零件的使用数量上减少了百分之六十。这使得其在稳定性和将来的维修成本上有很大的优势。



 在油封旋片真空泵中,国内习惯上称皮带传动的为旋片真空泵,而把泵与电机直接连接或用联轴器连接的称为直联旋片真空泵。在每种泵中,又有单级和双级之分。在单级泵中,南雄旋片真空泵,由于选用的结构形式和参数不同,泵的极限压力和用途也不同。

  它们的共同特点是结构较简单,旋片真空泵厂,使用方便,能从大气压力下起动,可直接排人大气,偏心质量较小,维护简便,泵本身结构也有改进而使可靠性提高。



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