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东莞市盛飞真空设备有限公司干式机械真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:

1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;





2)半导体刻蚀工艺。

3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;

4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,真空泵干泵生产厂家,要防止有机溶剂造成污染,真空泵干泵价格,适合用干式真空泵

5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。

 

 

 

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    近段时间有些客户在使用水环真空泵过程中,真空泵干泵维修,发现运行一段时间真空度会降低,盛飞在此分析降低的原因主要有:①进水不稳定 ②水量不足 ③泵内部进水渠道不通畅 ④水温太高

   改进方法:

   ①检查进水管和水压 ②改进泵内部结构 ③降低水温,重庆真空泵干泵,无条件时,若工作真空度要求不高时,也可改变泵内结构来实现。


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