东莞市盛飞真空设备有限公司干式机械真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,安徽柱塞真空泵,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,柱塞真空泵安装,以防止油污染。
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真空泵的功能除均能满意对容器进行抽真空的共同点之外,还各有各的特点。在选用时要知道泵在真空体系中所承当的作业任务是十分重要的,泵在各种不一样作业范畴中所起的效果归纳起来主要要有:
1、在体系中做主泵 所谓主泵即是对真空体系被抽容器直接进行抽真空,柱塞真空泵公司,以取得满意技术需求所需真空度的真空泵。
2、粗抽泵 粗抽泵是指从大气压开端下降真空体系压强到达另一抽气体系能够开端作业的真空泵。
3、前级泵 前级泵是指用于使另一个泵的前级压强保持在其较高答应的前级压强以下的真空泵。
4.、粗真空泵或低真空泵 粗、低真空泵是指从大气开端,柱塞真空泵厂家,下降被抽容器的压强后作业在低真空或粗真空压强规模内的真空泵。
7.、增压泵 增压泵通常指作业在低真空泵和高真空泵之间,用以进步抽气体系在中心压强规模的抽气量或下降前级泵抽气速率需求的真空泵。
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