与超声压电微型马达相比，压电步进微型马达（如同样由Physik Instrumente开发出的PiezoWalk）产生的力量可高达700 N (155 lb)，距离分辨能力达微微米（一百万兆分之一米）。50微微米的分辨能力已得到了证实。
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