圆裂片式，爪式和组合式（罗茨＋爪）被称为多级泵。因为它们的工作方式大致相同，都是利用多级真空腔对气体进行反复的压缩来产生真空。在多次反复压缩的过程当中，气体的温度和压力也产生比较复杂的变化，因而比较容易引起气体物理特性的变化。旋片修正后尺寸39. 98 mm，那么转子长应磨到39.96 mm，泵腔应磨到40. 00 mm。这是老师傅们现在所采取的方法。研磨泵体多用平面磨床来磨，裕量少者用手工。其研磨方法是用金刚砂研磨料在平板上用手工推磨或与端面对磨，不过用手工研磨的方法多半在新泵初次或二次修理时使用，再修一般都要上磨床了。需求总是在生产只中得到满足的，有了设备生产就会显得更加的顺利，因此在这样的生产时代里，化工泵也开始被引进工业生产中。而在这样的生产里，我们十分注重的又会是化工泵的质量，那么如何做好化工泵的质检工作就成为了人们比较关心的问题了。
在做好阿特拉斯真空泵发展的实用基础能力上，要利用其产品性能的表现，促进其整体运用实力的整体带动，水环式真空泵，通过产品运用及性能优势的发展，突出产品各方面整体运用实力的提升，加快其运用性能发展的优势水平，使其在整体带动的过程中，体现出产品实用性能的不断推进，扩大各方面运用优势水平的开拓效果。减少或排除有害空间。对于旋片泵定子与转子相切的顶点，尽量缩短顶点到排气结束点的距离.一般取7到10毫米。或者使定子与转子的接触由线接触改为面接触，对接触点的定子内曲线表面加工一道10到15毫米的鳃槽，同时在定子端盖加工弧形导流槽将排气终点延伸至翅槽。填充有害空间。在有害空间存在时，若有害空间内充满气体和油的混合物，则噪声较低。对于戴气镇阀的旋片泵，可以通过气镇阀的微量掺气来实现。实验证明，微开气镇阀时对泵的极限真空度影响并不大，真空泵，却可以明显降低噪声。旋片泵可以抽除密封容器中的干燥气体，若附有气镇装置，还可以抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除含氧过高的，对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。旋片泵是真空技术中最基本的真空获得设备之一。旋片泵多为中小型泵。旋片泵有单级和双级两种。所谓双级，就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的，以获得较高的真空度。
在很多科研人员的努力下，经过一个漫长的过程，我国的真空泵设备由了很大的进展，短短几十年间，真空镀膜相关技术得到了巨大的跃进，开发出多种工艺用作不同产品镀膜。有些泵的卡死毛病较易修复。例如:上海或常德生产的一种旋片泵，前后级的气体通路是在中隔板顶部铣一半圆槽，上面垫橡皮板，XD真空泵供应，由油箱压紧，当橡皮板太厚、油箱压得太紧或橡皮被油泡久发胀等而使气道半圆槽被堵死时，就会使泵开不动或开一会儿便卡死。这时，只需把泵拆开，旋片式真空泵，挖去气逆部分所垫橡皮，重新装好即可。此时叶轮轮毂与水环内界面之间形成一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的下部0°为起点，那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大，且与端面上的吸气口相通，此时气体被吸入，当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝；当叶轮继续旋转时，小腔由大变小，使气体被压缩；当小腔与排气口相通时，气体便被排出泵外。
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