目前制备多晶硅薄膜电池多采用化学气相 沉积法，包括低压化学气相沉积（LPCVD）和等离子增强化学气相沉积（PECVD）工艺。 此外，液相外延法（LPPE）和溅射沉积法也可用来制备多晶硅薄膜电池。 化学气相沉积主要是以 SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4 或 SiH4，为反应气体，广东R，在一定的保护气氛下 反应生成硅原子并沉积在加热的衬底上，R230，衬底材料一般选用 Si、SiO2、Si3N4 等。
SW1频率选择ON50HZOFF60HZSW2稳定时间选择ON100KW以上OFF50KW以下
操作说明电压（VOLT）调整发电机的输出电压发电机的输出电压可以根据发电机组的电压特性进行调整，R448，通常内置的电压调整电位器VOLT可以调整一个大的电压范围（350~480 V或者180 ~300V)，R250，如果为了可以从控制屏面板设定或者调整电压，可以连接一个适当的电位器到端子VR1和VR2（功率1~2W，阻值10KΩ-100KΩ）。
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