从古代到16世纪末
近几十年来，作为一种精密而科学的化学加工技术，在多种金属材料上被大
量用于蚀刻各种不同的图文及外形加工。特别是航天和航空工业，几乎随处都可见到化
学蚀刻加工技术的应用。然而作为一种化学切削加工技术，其历史可以追逆到很久远的
年代。对这一加工方法最早的应用并未见诸于中国的资料，金属腐蚀加工，这也许是由于古代中国对科
学技术的探索和记载并不受到重视的原因。而在西方这一方法的应用显然具有更久远的
历史。关于最早使用这一技术的记载，有西方人认为在公元一世纪即有人在谈论NaOH
和Al2(SO4)3的用途，在这里显然有夸大之嫌。对金属腐蚀的应用及发展必须具备二个
条件才是有意义的，一是金属的普及应用，东莞金属腐蚀，二是各种腐蚀剂的被发现。金属的发现和应用
具有更长的历史，在这方面的发展中国具有比其他国家更久远的历史，金属腐蚀，这些都是属于古代
炼金术士的功劳，最早被人们所普遍使用的金属是铜及合金材料，接着就是铁的发现。而
铝的发现却是近几百年的事，所以西方人认为公元一世纪就有人在谈论NaOH
及A12(S04)3的用途具有不实之名。
湿式蚀刻过程可分为三个步骤：1) 化学蚀刻液扩散至待蚀刻材料之表面；2) 蚀刻液与待蚀刻材料发生化学反应； 3) 反应后之产物从蚀刻材料之表面扩散至溶液中，并随溶液排出(3)。三个步骤中进行最慢者为速率控制步骤，也就是说该步骤的反应速率即为整个反应之速率。大部份的蚀刻过程包含了一个或多个化学反应步骤，佛山金属腐蚀，各种形态的反应都有可能发生，但常遇到的反应是将待蚀刻层表面先予以氧化，再将此氧化层溶解，并随溶液排出，如此反复进行以达到蚀刻的效果。如蚀刻硅、铝时即是利用此种化学反应方式。
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