②开式系统。化工工业的结晶、蒸馏过程，航空模拟中的充气环境控制试验等。工作过程中不断有气体
补充进来，当充气和抽气达到平衡的时候，也就是系统的压力。通常采用罗茨-液环真空泵、罗茨-螺杆
泵真空机组，通常该类机组可以有很大规格，里其乐真空泵KTA100碳片，同时前级泵配置也较大，昆山里其乐，或者组成机组群联合工作。
③清洁系统。抽除的气体气是空气或者其类似气体，里其乐CLFT-101碳片，选用罗茨-旋片泵、罗茨-滑阀泵机组简单，里其乐真空泵VFT-60碳片，容易操
作。
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工作于分子流状态下的高真空抽气机组与低真空机组相比，工作压力较低、排气量小、抽速大。机组的主泵通常为扩散泵、扩散增压泵、分子泵、钛泵、低温冷凝泵等。这些泵不能直接对大气工作，因此需要配备预抽泵或前级维持泵。有些扩散泵高真空抽气机组还配有前级储气罐，以防止气压波动。改善机组性能。
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