里其乐真空泵油MULTI-LUBE46，里其乐真空泵VLT40叶片，100
对于液环泵，里其乐真空泵VTA80叶片，在低压力下，尤其是100hPa以下，液环泵的抽气速率与工作液的饱和蒸汽压关系很大，当
工作液的蒸汽压较大时，液环泵的实际抽气速率降低很快，当以温度较高的工作液时，由于饱和蒸汽压
的影响，水环泵的抽气能力会降低，极限压力也会升高，体积大或者功率大的液环泵只是抽气能力大，
并不代表能抽到的真空度高，工作液的饱和蒸汽压，决定了液环泵能达到的低吸气压力，里其乐真空泵ZYB140F叶片，不论多大的
液环泵，在接近工作液的饱和蒸汽压力附近，吸气能力都很小。
里其乐Rietschle真空泵：VC50/VC75/VC100/VC150/VC202/VC303/VC400/VC500/VC700/VC900/VC1100/VC1300
高压缩比的涡轮分子泵，以双级旋片式真空泵为前级，丽水里其乐，可得到5*10-9Pa的真空度。用扩散泵作前级，可
得到10-9Pa真空度。泵入口安装上钛升华阱，获得的真空度高于10-9Pa。
涡轮分子泵对氢的压缩比小，残留气体中主要是氢。泵的极限氢分压受泵的压缩比和前级管道中氢分压
的限制，采用扩散泵作前级，可降低前级管道中的氢分压，进而可提高泵的极限真空度。
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