真空泵密封装置材料要求
一、真空泵每套密封装置包括一个动环和一个静环，一般工况下要求其中一个密封环应为高等级防起泡石墨环，对第二类和第三类密封，另一密封环应为反应烧结碳化硅；对第，一类密封，另一米风环允许采用常压烧结碳化硅。
对于含有颗粒、高黏度介质和高压工况，应采用硬对硬的密封端面。一般采用碳化硅对碳化硅。
密封轴套一般采用316、316L或316Ti等不锈钢材料。
二、多弹簧宜采用哈氏C-276合金、单弹簧使用316不锈钢材料。
三、金属波纹管，B型密封应采用哈氏C-276合金、单弹簧使用316不锈钢材料。
四、辅助密封圈宜采用氟橡胶材料制作。若因工作温度和化学兼容性限制不能使用氟橡胶时，可采用全氟橡胶，其最，高工作温度可达290度。
五、合金泵密封端盖的材料应予密封腔想通，或者采用防腐性能和力学性能更好的材料。提起材料泵的密封端盖采用316、316L或316Ti等材料，端盖和密封腔之间采用O型圈密封结构，当温度超过175度时，应使用柔性石墨填充的304或316不锈钢缠绕垫圈。
六、簧座、传动销、防转销和内部定位螺钉等其他零件应采用316或更好的材料。当硬化碳钢定位螺钉不适用工作环境时，应采用沉淀硬化不锈钢。
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