HCE系列光纤光谱仪真空镀膜的监控
光纤光谱仪为真空室内镀膜过程的监控提供了一种灵活的测量手段,它可以方便地把光引入并引出真空室或洁净工作仓,同时选择镀膜过程分析所需要测量的参数。在实际的在线生产中,可以在工作仓中放置几个探头来检测整个生产过程。图示为真空室镀膜过程监控的典型实验布局。在这里一个反射型光纤探头用来在线监测镀膜过程。氘-卤素灯发出的光被导入真空室并传导到反射探头上,反射光由反射探头传导到光谱仪中;也可以再增加一个通道作为参考测量来补偿光源的波动。
紫外/可见吸收光谱测量
液体的吸收率测量可以用不同的实验布局和波长范围来实现,如使用浸入型光纤探头或流动样品池进行在线吸收率测量,或使用样品固定器进行样品的吸收率测量。对于测量紫外/可见波长范围的光谱仪,可以选择波长范围 200-1100nm、分辨率1.4nm(FWHM)。此外还需要氘-卤素灯作为光源。不同的应用可以选择不同的光纤探头。