HCE系列光纤光谱仪真空镀膜的监控
光纤光谱仪为真空室内镀膜过程的监控提供了一种灵活的测量手段,它可以方便地把光引入并引出真空室或洁净工作仓,同时选择镀膜过程分析所需要测量的参数。在实际的在线生产中,可以在工作仓中放置几个探头来检测整个生产过程。图示为真空室镀膜过程监控的典型实验布局。在这里一个反射型光纤探头用来在线监测镀膜过程。氘-卤素灯发出的光被导入真空室并传导到反射探头上,反射光由反射探头传导到光谱仪中;也可以再增加一个通道作为参考测量来补偿光源的波动。
HPF系列光谱仪软件
软件:
●中文操作界面,操作简单易用。
●校准功能丰富,包含波长校正,非线性校正、杂散光校正等。
●数据导出方便,可以导出各种计算所需数据,包含数据库功能。
●可一个软件连接多台光谱仪。
●检测算法丰富,可计算透过率、反射率、吸光度等。
HPF系列微型光纤光谱仪是一个系列的产品,都仅有手掌大小,非常轻便;它们无需电源,可由计算机直接供电,使用方便。这两种光谱仪都具有较快的测量速度和精度,具有可编程微处理器,可以灵活地控制光谱仪和附件,在软件上完成各种操作,例如:控制外部光源、创建进程和程序、获取外部仪器的数据等。