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Edwards半导体专用爱德华真空泵E2M80维修

2）对于单级泵，在泵运转时打开气镇阀能很好的防止泵油的返流。

3）在泵入口设置吸附阱，依靠吸附剂吸附返流油蒸汽。颗粒活性氧化铝可以吸附99%的返流油蒸汽。这种吸附阱需要定期跟换吸附剂，以防吸附材料吸气能力达到饱和而失效。

4）使用特殊泵油。特殊泵油的返流量很少，爱德华机械泵油，但价格较贵，爱德华RV泵专用油，因此难以广泛使用。

检查是否漏油

应当经常检查油窗、油箱密封垫处、电机轴承盘处以及泵的其他部位是否有泵油渗出 ，真空油爱德华， 发现有漏油时应及时进行维修。

漏油是爱德华旋片式机械真空泵的最常见故障之一 ，西安爱德华， 主要发生在真空泵的油窗、油箱密封垫、电机轴承轴封三个位置上 ， 其主要原因是真空泵使用时间过长而引起这些部位老化 ， 密封失效 ， 从而导致漏油。

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