HCE系列光纤光谱仪真空镀膜的监控
光纤光谱仪为真空室内镀膜过程的监控提供了一种灵活的测量手段，它可以方便地把光引入并引出真空室或洁净工作仓，同时选择镀膜过程分析所需要测量的参数。在实际的在线生产中，可以在工作仓中放置几个探头来检测整个生产过程。图示为真空室镀膜过程监控的典型实验布局。在这里一个反射型光纤探头用来在线监测镀膜过程。氘-卤素灯发出的光被导入真空室并传导到反射探头上，反射光由反射探头传导到光谱仪中；也可以再增加一个通道作为参考测量来补偿光源的波动。
HPF系列微型光纤光谱仪特点
HPF系列的光谱仪采用Hamamatsu公司的二维排布的薄型背照式FFT-CCD探测器，量子效率可达90%，其具有高的紫外响应和信噪比。由于其在紫外波段具有较高的响应度，因此不需要采用紫外镀膜工艺，也就自然避免了不同UV镀膜批次的质量不同问题。
HPF系列光谱仪适合于需要高灵敏度、良好的紫外响应和大动态范围的应用。
HPF-01、HPF-02光谱仪的价格分别为￥12000、￥12800，性能和价格基本匹配。动态范围为8000:1. HPF-01和HPF-02在很多参数上具有同样的性能，HPF-02的特点是具有更宽的波段范围。它们可以应用在需要高灵敏度、良好紫外响应和大动态范围的应用领域。
