其性质极硬Hv 1000～1200，又极脆，NH3之分解率视流量的大小与温度的高低而有所改变，桥头热处理，流量愈大则分解度愈低，流量愈小则分解率愈高，温度愈高分解率愈高，温度愈低分解率亦愈低，NH3气在570℃时经热分解如下： 但当硬化层极薄时，其残余压应力太小，且拉应力极大值接近于表面，铝热处理，它助长了外加负荷的拉应力，这时将以硬化层稍下为起点发生破坏，所以疲劳强度反而降低。同时，硬化层极厚时也不利，铜热处理，表层拉应力将导致淬裂，这时的应力分布同油中淬火透时的应力相似，当然是纵向淬裂。
除了上述较为重要的淬硬层深度的影响外，材料的成分和组织也有一定的影响。
将各种碳钢及低合金钢处理成同样的组织，高频淬火后测其残余应力可见含碳量越低或淬透性越差的钢，硬化层的残余切向应力越大。
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