机组中真空泵的作用
小编今天要向大家介绍的是机组中真空泵的作用，希望对您有帮助。
机组中真空泵的作用主要是造成泵所需的预备真空，对于一般情况而言，单级泵极限真空度不高，而目前我国生产的泵要求的预真空又比较高，因此实际上我们一般不用单级泵作为泵的前级泵，旋片真空泵生产厂家，而是采用了极限压力较低的双级泵作为前级泵使用，这样还可以降低机组的极限压力。
一直以来，真空泵的使用成本是影响人们选择真空泵的重要因素。真空泵的意外出错会引起机器的使用效率降低，影响到晶圆的生产和交货期，甚至造成所加工晶圆的报废和机器其他部件的损坏。由于真空泵设计为单级设计，同多级真空泵如圆裂片式、爪式以及组合式相比，其在零件的使用数量上减少了百分之六十。这使得其在稳定性和将来的维修成本上有很大的优势。
诊断真空泵真空度的方法
真空度常规故障排查法
造成真空度故障的原因不是唯1的，而我们的检测手段又很单一，优质旋片真空泵，整个系统只有一块真空表，旋片真空泵订购，这块表只能反映系统的最终抽气结果，却不能反映在某一时间上各个单元的过程量，为故障的查找带来了许多不便，也增加了故障的排查时间。
目前，采用的故障排查方式基本为排除法，步骤如下:
1、确定真空度仪表的准确性;
2、确保系统切断阀无泄露;
3、若故障为现象一的表现形式，则需对整个系统进行外泄露的检查;
4、若故障为现象二的表现形式，旋片真空泵，首先检查蒸汽、水等能源介质的各项参数值是否有异常，如无异常，检查各逆止阀，如无异常，作系统性能实验，确定哪一级泵的性能有问题，检查该泵的喷嘴和蒸汽阀门。
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