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电子光学无尘室洁净室内气流的横向扩散只在甚低的流速下才有可能，单向流在合理的气流组织下，流速0.05～0.1m/s就足够带走污染物，在此流速下亚微米粒子的扩散性能远低于对流性能;而大于0.36m/s的气流速度反而易千百万涡流，引起污染物的再卷入。因此，洁净室的理想自净时间Tr=体积/流率，贴膜无尘车间，到一定值后由于污染物的再卷入，再增大气流速度，实际的Tr并不再有明显的减少。
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电子光学无尘车间围护结构的密闭性，洁净室的洁净度，温湿度控制的有效程度以及电气设备的质量是电子行业洁净厂房的重要指标，会影响室内生产和存放的电子产品的质量。因此在电子行业洁净厂房的施工过程中要格外注意这些方面的施工质量，确保电子行业洁净厂房可以为电子产品的生产和存放提供一个适宜的环境。本文首先介绍了电子行业洁净厂房的特点，包括其结构、通风和清洁；然后针对电子行业洁净厂房施工的各个方面，包括暖通、装修、电气和自控以及施工顺序，提出了具体的要点与措施，从而保障施工质量，无尘车间，确保电子行业洁净厂房的质量。
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