Edwards爱德华真空泵E2M80维修
（1）泵油的返流
旋片泵在工作时，油蒸汽会逆着气流方向进入入口管道，通过管路最终进入被抽容器。油蒸汽的返流量随压力的降低而增加，在泵极限压力附近达到，返流油蒸汽主要是泵油中的轻馏分。
泵油的返流会污染真空室，平顶山爱德华，影响产品的质量，必须加以控制。防止泵油返流的主要措施有。
1）在泵入口管路上设置放气阀，爱德华真空泵ES100真空泵油，使泵入口压力维持在10Pa或更高，这样可以减少返流98%。
全氟聚醚油，英文简称PFPE。它由碳、氧、氟原子组成，属于耐腐蚀性气体真空泵油分类中的ISO-6743A-1987﹨DVB﹨DVD﹨DVF类油品。该油品碳氢键中的氢原子全部为氟原子取代，爱德华真空泵EH500专用真空，由其分子结构特点决定，具有绝佳的热稳定性、化学惰性、不燃性。当收到电子或离子轰击时，不产生聚合物，不与活性气体反应，具有优良的氧化安定性、热稳定性、化学试剂的惰性和不燃性。具有优良的抗臭氧能力、能够在VF6﹨F﹨PH3﹨ASH3及其他卤素化合物（BF3﹨BCl﹨PCl3﹨TiCl4﹨SnCl4﹨SiCl4）等酸性气体存在的环境中保持稳定；甚至在高温下也有一定的抗腐蚀作用。与常规的油品比较可在长时期内保存优良的性能。
该类油品为无色透明的液体，密度较大（可达1.95g/cm3，20℃时）、黏度指数高、表面张力低、折射率低、倾点低。可用于有制氧系统和有腐蚀气体的半导体系统和强辐射的场合。
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